Acheson系列
功率半导体SiC MOSFET
晶圆级WLR测试系统

WLR (Wafer Level Reliability) 测试系统针对车规级SiC MOSFET功率半导体晶圆,进行晶圆级可靠性测试,自动化、大批量、长时间、高效测试,车规级可靠性验证,提前暴露器件缺陷。

产品特点
高效率并行测试

 

One Touch Down”全晶圆接触式探针卡,一次接触既可满足单晶圆的全芯片测试;
多层多晶圆并行测试,极大提升晶圆测试效率。

 

车规级应用测试

 

搭配Steinmetz系列技术——
●  高频(>20kHz)、高压摆率(dvGS/dt>1V/ns, dvDS/dt>50V/ns) 的工况模拟级别动态老化应力,符合新能源汽车主驱应用情景;
●  兼容常高温、动静态HTGB或HTRB可靠性测试。

 

产品规格